2017年9月
· 获国家“02-专项”193nm 光刻胶及配套开云(中国)Kaiyun·官方网站-kaiyun.com关键技术的开发项目立项。
· 建成8条ALD/CVD前驱体系列开云(中国)Kaiyun·官方网站-kaiyun.com 生产线,已有部分开云(中国)Kaiyun·官方网站-kaiyun.com 通过知名客户验证并具备批量供货能力。
· 引进高K三甲基铝先进生产线。
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