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三甲硅烷基胺（TSA）

三甲硅烷基胺（TSA）

中文名：三甲硅烷基胺
英文名：Trisilylamine
CAS号：13862-16-3
用途：通过流动化学气相沉积（FCVD）形成氧化硅
纯度指标：99.65%
规格：公斤级

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